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内容简介：
微机电系统是20世纪末兴起，并在21世纪初开始快速发展的高科技前沿领域。其所涉及领域不断扩大，相关研究也日趋深入。《微机电系统工程基础》主要介绍相关的工程基础知识。《微机电系统工程基础》共11章，较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基础知识，分析了微系统中的工程特点，与传统工程科学的区别，传统理论在微机电系统应用中所受到的限制及其修正，微机电系统中常见的失效方式及其应对原则等。
《微机电系统工程基础》可供高等学校相关专业高年级选做本科教育教材，也可以供感兴趣的研究生、科研人员参考之用。
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书籍介绍
微机电系统是20世纪末兴起，并在21世纪初开始快速发展的高科技前沿领域。其所涉及领域不断扩大，相关研究也日趋深入。《微机电系统工程基础》主要介绍相关的工程基础知识。《微机电系统工程基础》共11章，较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基础知识，分析了微系统中的工程特点，与传统工程科学的区别，传统理论在微机电系统应用中所受到的限制及其修正，微机电系统中常见的失效方式及其应对原则等。
《微机电系统工程基础》可供高等学校相关专业高年级选做本科教育教材，也可以供感兴趣的研究生、科研人员参考之用。
网站评分
书籍多样性：9分
书籍信息完全性：9分
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书籍清晰度：4分
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下载评价
- 网友 孙***美： ( 2025-01-17 05:59:10 )
加油！支持一下！不错，好用。大家可以去试一下哦
- 网友 沈***松： ( 2024-12-25 23:57:45 )
挺好的，不错
- 网友 扈***洁： ( 2025-01-01 12:35:20 )
还不错啊，挺好
- 网友 宫***玉： ( 2025-01-14 13:55:52 )
我说完了。
- 网友 晏***媛： ( 2025-01-11 16:52:10 )
够人性化！
- 网友 后***之： ( 2025-01-01 13:06:45 )
强烈推荐！无论下载速度还是书籍内容都没话说 真的很良心！
- 网友 孔***旋： ( 2025-01-19 06:45:59 )
很好。顶一个希望越来越好，一直支持。
- 网友 堵***洁： ( 2025-01-05 01:02:04 )
好用，支持
- 网友 焦***山： ( 2025-01-07 06:21:14 )
不错。。。。。
- 网友 菱***兰： ( 2025-01-15 18:16:40 )
特好。有好多书
- 网友 龚***湄： ( 2024-12-30 03:33:33 )
差评，居然要收费！！！
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书籍真实打分
故事情节：9分
人物塑造：6分
主题深度：9分
文字风格：4分
语言运用：9分
文笔流畅：8分
思想传递：4分
知识深度：6分
知识广度：9分
实用性：7分
章节划分：8分
结构布局：5分
新颖与独特：7分
情感共鸣：7分
引人入胜：5分
现实相关：9分
沉浸感：5分
事实准确性：9分
文化贡献：7分