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　　本书全面系统地阐述了真空装置的定义、分类及基本组成。全书分7章，主要内容有：真空装置概述、真空装置容器、真空抽气机组、真空泵、真空阀门、真空测量及装置的控制系统、真空装置常用制造工艺。

本书将理论与实践有机结合，适用于从事真空工程设计的专业技术人员、设备操作与维护人员阅读，也适合从事与真空技术相关的科研人员以及大专院校相关专业师生阅读参考。

第1章  概论

  1.1  真空装置

  1.2  真空装置的特点

  1.3  真空装置的分类

  1.4  真空装置的组成

    1.4.1  真空容器（真空室）

    1.4.2  真空泵

    1.4.3  抽气机组

    1.4.4  真空测量

  1.5  真空装置典型实例

第2章  真空装置容器

  2.1  概述

  2.2  真空室的门

  2.3  真空室的冷却

  2.4  真空室的观察窗

    2.4.1  观察窗基本类型

    2.4.2  观察窗设计要点

    2.4.3  真空设备常用观察窗标准

  2.5  真空室的电极引入

    2.5.1  电极引入部件密封设计要求

    2.5.2  电极的结构形式

    2.5.3  部标陶瓷金属封接电极（SJ 1775—81）

    2.5.4  国产陶瓷-金属封接电极

  2.6  真空室强度计算

    2.6.1  真空室强度计算一般知识

    2.6.2  真空室壳体设计

    2.6.3  圆筒体加强圈的设计

    2.6.4  封头强度计算

    2.6.5  开孔加强设计

    2.6.6  法兰及管道设计

第3章  真空装置抽气系统

  3.1  真空装置抽气系统基本参数

    3.1.1  极限压力

    3.1.2  工作压力

    3.1.3  有效抽速

    3.1.4  抽气时间

  3.2  真空系统设计

    3.2.1  选泵及配泵

    3.2.2  真空系统设计计算实例

  3.3  低真空抽气机组设计

    3.3.1  低真空机组的特点

    3.3.2  除尘器

    3.3.3  低真空机组典型实例

  3.4  高真空系统及抽气机组

    3.4.1  高真空系统特点

    3.4.2  储气罐预抽泵设计

    3.4.3  高真空机组主要形式

  3.5  超高真空系统及抽气机组

    3.5.1  超高真空系统特点

    3.5.2  超高真空系统设计要点

    3.5.3  超高真空抽气机组

    3.5.4  兰州物理研究所对超高真空系统的研究

  3.6  极高真空系统

    3.6.1  概述

    3.6.2  极高真空系统设备研究

    3.6.3  极高真空系统运转规范

    3.6.4  试验结果与讨论

第4章  真空泵

  4.1  概述

    4.1.1  真空泵的分类

    4.1.2  真空泵的技术术语、用途和使用范围

    4.1.3  真空泵的型号及规格表示法

  4.2  往复式真空泵

    4.2.1  概述

    4.2.2  工作原理

    4.2.3  结构特点

    4.2.4  主要性能参数

    4.2.5  国家规定的往复泵型式与基本参数（摘自JB/T 7675—95）

    4.2.6  往复泵的使用与维护

  4.3  液环式真空泵

    4.3.1  概述

    4.3.2  工作原理

    4.3.3  液环泵的基本类型与结构

    4.3.4  液环泵的基本参数

    4.3.5  液环泵型式与基本参数（摘自GB/T 7255—94）

    4.3.6  液环泵使用与维护

  4.4  油封式旋转机械真空泵

    4.4.1  概述

    4.4.2  工作原理

    4.4.3  结构特点

    4.4.4  性能参数

    4.4.5  型号与基本参数（摘自JB/T 6533—97、JB/T 1246—97）

    4.4.6  泵的运行和维护

  4.5  罗茨式真空泵

    4.5.1  概述

    4.5.2  工作原理

    4.5.3  结构特点

    4.5.4  罗茨泵的主要性能参数

    4.5.5  ZJ型罗茨泵的基本参数（摘自ZB/T 7674—95）

    4.5.6  罗茨泵的使用与维护

  4.6  涡轮分子泵

    4.6.1  概述

    4.6.2  涡轮分子泵的工作原理

    4.6.3  涡轮分子泵基本结构组成及特点

    4.6.4  涡轮分子泵工作特性

    4.6.5  涡轮分子泵基本参数（摘自JB/T 9125—1999）

    4.6.6  涡轮分子泵的使用

  4.7  油扩散喷射真空泵

    4.7.1  概述

    4.7.2  结构原理

    4.7.3  油扩散喷射真空泵的抽气特性

    4.7.4  油扩散喷射真空泵的设计计算

    4.7.5  国产Z型系列及WZ系列油扩散喷射真空泵主要技术性能、特性曲线及外形尺寸

    4.7.6  油扩散喷射泵的运转

    4.7.7  油扩散喷射泵的使用与维护

  4.8  油扩散泵

    4.8.1  概述

    4.8.2  油扩散泵的工作原理

    4.8.3  油扩散泵的结构形式和特点

    4.8.4  油扩散泵的性能参数

    4.8.5  用油扩散泵获得超高真空的方法

    4.8.6  油扩散泵的使用与维护

  4.9  低温泵

    4.9.1  概述

    4.9.2  低温泵的抽气原理和分类

    4.9.3  低温泵的性能参数

    4.9.4  现代低温泵的结构及设计

    4.9.5  低温泵的选型方法

  4.10  溅射离子泵

    4.10.1  概述

    4.10.2  溅射离子泵的基本结构和工作原理

    4.10.3  溅射离子泵的改进

    4.10.4  溅射离子泵的工作特性

    4.10.5  溅射离子泵的使用维护

  4.11  钛泵

    4.11.1  概述

    4.11.2  钛升华泵工作原理

    4.11.3  钛升华器的结构

    4.11.4  电离升华泵

    4.11.5  钛泵的使用和维护

第5章  真空阀门

  5.1  概述

  5.2  真空阀门的设计与计算要点

    5.2.1  对真空阀门的基本要求

    5.2.2  真空阀门的设计步骤

    5.2.3  真空阀门的密封

    5.2.4  真空阀门压紧装置及设计计算

    5.2.5  阀盖传动机构

  5.3  真空装置常用的真空阀门

    5.3.1  真空插板阀

    5.3.2  高真空挡板阀

    5.3.3  高真空蝶阀

    5.3.4  电磁真空阀

    5.3.5  真空隔膜阀

    5.3.6  真空微调阀

    5.3.7  真空放气阀

    5.3.8  玻璃真空活塞

    5.3.9  典型各类真空阀门结构形式

第6章  真空装置自动控制

  6.1  概述

    6.1.1  真空装置控制

    6.1.2  真空自动控制系统的分类

    6.1.3  自动控制系统的性能指标

    6.1.4  自动控制系统的分析方法

  6.2  自动控制元件及装置

    6.2.1  真空继电器

    6.2.2  真空计

  6.3  真空装置自动控制系统

    6.3.1  概述

    6.3.2  继电器控制系统

    6.3.3  压力控制仪控制系统

    6.3.4  可编程控制器控制系统

    6.3.5  计算机控制系统

第7章  真空装置中的常用制造工艺

  7.1  真空装置的清洗处理

    7.1.1  概述

    7.1.2  真空装置元件的清洗方法

    7.1.3  清洗的基本程序

    7.1.4  非金属材料的清洗

  7.2  真空装置材料的除气

    7.2.1  材料除气的基本方法

    7.2.2  玻璃及陶瓷材料的除气

    7.2.3  金属材料的除气

    7.2.4  电真空器件的除气

    7.2.5  超高真空装置的烘烤除气

    7.2.6  烘烤除气装置

  7.3  真空装置常用的焊接技术

    7.3.1  真空装置对焊接工艺的要求

    7.3.2  真空焊接的分类

    7.3.3  氩弧焊

    7.3.4  电子束焊

    7.3.5  真空钎焊

    7.3.6  真空扩散焊接

  7.4  真空装置金属——陶瓷封接技术

    7.4.1  陶瓷-金属封接材料

    7.4.2  陶瓷-金属封接形式

    7.4.3  陶瓷金属化封接

    7.4.4  真空直接钎焊封接

    7.4.5  金属-陶瓷钎焊应用实例

参考文献

　　徐玉江。1987年8月毕业原东北工学院(现东北大学、国家985、211工程重点高校)真空技术及设备专业，主要从事于真空技术相关设备研制工作，历任助工、工程师、高工、总工程师等职。2005年入选甘肃省“555”人才，兰州市“151”创新人才。做为**人主持设计多项产品获省部级优秀新产品及科技进步奖，主持起草四项高真空油蒸气流泵国家标准、一项行业标准；合作出版专著1部，发表专业论文数篇。历任中国真空学会真空获得与测量专业技术委员会委员，全国真空技术标准化委员会副主任，甘肃省机械工程学会理事，省质量协会理事，省科技成果专家评委。

　　谈治信，中国航天科技集团公司五院五一O研究所，主编、高级工程师，1964年毕业于东北大学真空技术与设备专业。高级工程师、中国真空学会高级会员。曾任《真空与低温》杂志主编。历任《真空设计手册》第1、2、3版作者、技术编辑，并负责手册的组织协调、对外业务联系工作。长期从事真空科学技术、离子束技术研究和真空设备研发工作。研制六种型号离子束刻蚀机和大型真空电子束焊机等23台设备。曾获得全国科学大会奖一项、航天部科技进步二等奖四项、发表论文35篇。

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编辑推荐

　　真空装置广泛的应用于各领域。例如，常见的真空蒸发镀膜装置，它在真空容器内必须配置蒸发源（或称蒸发舟）、膜材、基片、基片架、基片加热电源等；仅就在轻工、日用品、玩具等方面，真空蒸镀铝、制作镜子、包装纸、装饰陶瓷瓷品、玩具、人造宝石、钮扣、雕塑品等，以改善人们的生活需求。又例如，航天科技应用的各种空间环境模拟设备，以KM6载人航天器空间环境模拟设备为例，由于该设备是供载人飞船、空间站、大型应用卫星作热平衡、热真空试验所用。特别是离子束刻蚀机作为典型的真空装置所涉及的技术问题，由于属于材料原子级加工的一种新工艺，一旦被人们所掌握，就意味着人类在微观世界实现控制加工的一个突破。它将有力地推动微电子技术、光子技术、表面科学、应用声学、材料科学、真空科学技术等向前发展。

书摘插图

前言

　　《真空装置》是《真空科学技术》丛书中的一本。本书对真空装置的定义、组成、分类作了科学及详尽的说明，将人们日常习惯性称呼的各种真空设备及真空机统一归类为真空装置。全书对真空装置所用材料、组成元件、不同真空系统组成及设计计算、真空测量及装置控制、真空泵、阀门使用维护、真空装置常用制造工艺等内容作了全面介绍。

　　本书将理论与实践有机结合，书中提供了大量相关的图表、数据及计算实例。适用于从事真空工程设计的专业技术人员、设备操作与维护人员以及从事与真空技术相关的科研人员阅读，亦可作为大专院校相关专业师生的参考书。

　　本书编写中谈治信编写了第1～6章、徐玉江编写了第7章。

　　本书在编写过程中,得到国内相关单位及同行专家的大力帮助和支持,参阅了有关专家编写的专著及发表的论文,对书中引用到文献的作者表示谢意。对“丛书”编辑部权素君同志在书稿的编写、打印、校对工作中给予的大力支持表示诚挚的感谢。

　　由于编者水平有限，书中不妥之处在所难免，恳请读者批评指正。

　　谈治信 徐玉江

　　2015年7月