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内容简介:
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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书籍介绍
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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书籍清晰度:6分
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- 网友 冉***兮: ( 2024-12-31 21:46:53 )
如果满分一百分,我愿意给你99分,剩下一分怕你骄傲
- 网友 印***文: ( 2024-12-21 17:19:59 )
我很喜欢这种风格样式。
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哈哈哈哈哈哈
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听说内置一千多万的书籍,不知道真假的
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不仅速度快,而且内容无盗版痕迹。
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五星好评
- 网友 家***丝: ( 2025-01-05 13:38:40 )
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书籍真实打分
故事情节:7分
人物塑造:3分
主题深度:5分
文字风格:4分
语言运用:8分
文笔流畅:6分
思想传递:3分
知识深度:9分
知识广度:7分
实用性:9分
章节划分:7分
结构布局:8分
新颖与独特:8分
情感共鸣:6分
引人入胜:3分
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沉浸感:8分
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文化贡献:4分